
研究樣品的電表面狀態(tài) , 專用于測量半導體樣品表面的電子功函數(shù)
掃描Kelvin Probe(開爾文探針)可以測量 CPD(接觸電位差)值,評估半導體和導電材料的功函數(shù)。該技術起源于19世紀末,
最早由英國科學家開爾文勛爵所提出,隨著科學技術的不斷進步,開爾文探針技術逐漸得到改進和完善,應用領域也不斷擴大。目前,
開爾文探針技術已經(jīng)成為表面科學、材料科學、微電子學等領域的重要研究手段。
「 適用研究范圍 」
·材料的功函數(shù) ·費米能級的位置 · n或p型半導體
·半導體的能隙 ·表面電勢 ·表面態(tài)密度
·表面充放電效應 ·少數(shù)載流子擴散長度 ·溫度和濕度對功函數(shù)的影響
·更多特性
Instytut Fotonowy 公司提供多種配置的開爾文探針系統(tǒng),滿足不同的應用場景:
1. 單點開爾文探針系統(tǒng):用于研究功函數(shù),能夠精準測量樣品表面特定位置的接觸電位差(CPD)。
2. 掃描開爾文探針系統(tǒng):用于分析樣品的表面狀態(tài),能夠評估表面缺陷、表面態(tài)密度等特性。
3. 電化學開爾文探針系統(tǒng):這是一款創(chuàng)新的設備,專為直接測量與電解質(zhì)接觸的電化學樣品電子功函數(shù)設 計,無需干燥樣品表面,配備
了專用的電化學樣品池。
「 探針結構圖 」
探頭尖端是 Instytut Fotonowy 獨家設計制造。其優(yōu)勢顯著,即便距樣品 0.5 mm仍能獲取強信號,故而樣品表面粗糙與否、是否拋光均
可,且具透光性,可使樣品受垂直光束照射。其尖端振蕩由電磁鐵驅(qū)動。
「 完整型開爾文探針系統(tǒng) 」
突破傳統(tǒng),消除接觸電勢差測量中的模糊性
Fotonowy 開發(fā)的完整型開爾文探針系統(tǒng),解決了150年歷史中開爾文探針技術的關鍵瓶頸,尤其是在接觸電位差(CPD)測量時難以區(qū)分
樣品功函數(shù)變化與探針功函數(shù)變化的問題。該系統(tǒng)不僅繼承了傳統(tǒng)開爾文探針的所有基本功能,還實現(xiàn)了精確測量樣品與探針相對于地面的
接觸電位差(CPD)。
精準可靠,功能多樣的接觸電位差測量
本系統(tǒng)提供了更加精準、可靠的接觸電位差測量方案,并為科研中的電位差測量設立了全新的標準。無論是在表面功函數(shù)研究、電子性能測
試,還是在材料表面狀態(tài)分析中,它都能提供無與倫比的測量精度,助力科研人員深入探究電化學和材料性能。
「 技術規(guī)格 」
系統(tǒng)概述:
· 測量技術:2通道鎖相放大器
· 激光屏障:自動檢測基板并防止探針尖端撞擊樣品
· 輔助傳感器:濕度、溫度
· 小燈:激光指示器用于指示待測表面點
樣品夾具:自由形狀的固態(tài)頂端接觸夾具,底部接觸夾具, 電化學夾具
法拉第籠:標準型 / 氣密型帶惰性氣體流動系統(tǒng)
測量單元:
· 偏置電壓范圍:-5 ~ 5 V
· 電壓測量分辨率:0.15 mV
· 電流范圍:300 nA,30 nA,3 nA,300 pA
探針尖端:
· 探針尖端類型:金網(wǎng),直徑2.5mm
· 垂直軸上的定位分辨率:20μm
· 自動共振頻率掃描,可調(diào)節(jié)的振動幅度
· 自動去除探針尖端的寄生電流
· 典型的CPD測量距離:0.2 ~ 1mm
XY控制平臺:
· 電動:通過軟件控制
· 尺寸:50 x 50 mm
· 移動范圍:50 x 50 mm