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開爾文探針系統(tǒng) Kelvin Probe
產(chǎn)品描述

研究樣品的電表面狀態(tài) , 專用于測量半導體樣品表面的電子功函數(shù)

       掃描Kelvin Probe(開爾文探針)可以測量 CPD(接觸電位差)值,評估半導體和導電材料的功函數(shù)。該技術起源于19世紀末,

最早由英國科學家開爾文勛爵所提出,隨著科學技術的不斷進步,開爾文探針技術逐漸得到改進和完善,應用領域也不斷擴大。目前,

開爾文探針技術已經(jīng)成為表面科學、材料科學、微電子學等領域的重要研究手段。

開爾文探針系統(tǒng)  Kelvin Probe(圖1)

「 適用研究范圍 」

·材料的功函數(shù)         ·費米能級的位置            · n或p型半導體

·半導體的能隙         ·表面電勢                      ·表面態(tài)密度  

·表面充放電效應      ·少數(shù)載流子擴散長度     ·溫度和濕度對功函數(shù)的影響     

·更多特性


Instytut Fotonowy 公司提供多種配置的開爾文探針系統(tǒng),滿足不同的應用場景:

1. 單點開爾文探針系統(tǒng):用于研究功函數(shù),能夠精準測量樣品表面特定位置的接觸電位差(CPD)。

2. 掃描開爾文探針系統(tǒng):用于分析樣品的表面狀態(tài),能夠評估表面缺陷、表面態(tài)密度等特性。

3. 電化學開爾文探針系統(tǒng):這是一款創(chuàng)新的設備,專為直接測量與電解質(zhì)接觸的電化學樣品電子功函數(shù)設 計,無需干燥樣品表面,配備

了專用的電化學樣品池。

開爾文探針系統(tǒng)  Kelvin Probe(圖2)


開爾文探針系統(tǒng)  Kelvin Probe(圖3)

「 探針結構圖 」

探頭尖端是 Instytut Fotonowy 獨家設計制造。其優(yōu)勢顯著,即便距樣品 0.5 mm仍能獲取強信號,故而樣品表面粗糙與否、是否拋光均

可,且具光性,可使樣品受垂直光束照射。其尖端振蕩由電磁鐵驅(qū)動。

開爾文探針系統(tǒng)  Kelvin Probe(圖4)


「 完整型開爾文探針系統(tǒng) 」

突破傳統(tǒng),消除接觸電勢差測量中的模糊性

Fotonowy 開發(fā)的完整型開爾文探針系統(tǒng),解決了150年歷史中開爾文探針技術的關鍵瓶頸,尤其是在接觸電位差(CPD)測量時難以區(qū)分

樣品功數(shù)變化與探針功函數(shù)變化的問題。該系統(tǒng)不僅繼承了傳統(tǒng)開爾文探針的所有基本功能,還實現(xiàn)了精確測量樣品與探針相對于地面的

接觸電位差CPD)。

精準可靠,功能多樣的接觸電位差測量

本系統(tǒng)提供了更加精準、可靠的接觸電位差測量方案,并為科研中的電位差測量設立了全新的標準。無論是在表面功函數(shù)研究、電子性能測

試,還是在材料表面狀態(tài)分析中,它都能提供無與倫比的測量精度,助力科研人員深入探究電化學和材料性能。


開爾文探針系統(tǒng)  Kelvin Probe(圖5)


開爾文探針系統(tǒng)  Kelvin Probe(圖6)

「 技術規(guī)格 」

系統(tǒng)概述:

· 測量技術:2通道鎖相放大器

· 激光屏障:自動檢測基板并防止探針尖端撞擊樣品

· 輔助傳感器:濕度、溫度

· 小燈:激光指示器用于指示待測表面點

樣品夾具:自由形狀的固態(tài)頂端接觸夾具,底部接觸夾具, 電化學夾具

法拉第籠:標準型 / 氣密型帶惰性氣體流動系統(tǒng)

測量單元:

· 偏置電壓范圍:-5  ~  5 V

· 電壓測量分辨率:0.15 mV

· 電流范圍:300 nA,30 nA,3 nA,300 pA

探針尖端:

· 探針尖端類型:金網(wǎng),直徑2.5mm

· 垂直軸上的定位分辨率:20μm

· 自動共振頻率掃描,可調(diào)節(jié)的振動幅度

· 自動去除探針尖端的寄生電流

· 典型的CPD測量距離:0.2 ~ 1mm

 XY控制平臺:

· 電動:通過軟件控制

· 尺寸:50 x 50 mm

· 移動范圍:50 x 50 mm


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